Sputterointiprosessissa höyrystetään lähtömateriaali, jota kutsutaan kohteeksi, jolloin muodostuu ohut, korkean suorituskyvyn omaava kalvo tuotteille, kuten puolijohteille, lasille ja näytöille. Kohteen koostumus määrittää suoraan pinnoitteen ominaisuudet, joten materiaalin valinta on kriittistä.
Käytetään laaja valikoima metalleja, joista jokainen on valittu tiettyjen toiminnallisten etujen vuoksi:
Elektroniikan ja välikerrosten perusmetallit
Erittäin puhdasta kuparia arvostetaan sen poikkeuksellisen sähkönjohtavuuden vuoksi. 99,9995-prosenttisesti puhdasta kuparia sisältävät metallit ovat välttämättömiä mikroskooppisten johdotusten (liitäntöjen) luomiseksi edistyneiden mikrosirujen sisällä, joissa minimaalinen sähkövastus on ensiarvoisen tärkeää nopeuden ja tehokkuuden kannalta.
Erittäin puhdas nikkeli toimii monipuolisena työjuhtana. Sitä käytetään ensisijaisesti erinomaisena tartuntakerroksena ja luotettavana diffuusioesteenä, joka estää eri materiaalien sekoittumisen ja varmistaa monikerroksisten laitteiden rakenteellisen eheyden ja pitkäikäisyyden.
Tulenkestäviä metalleja, kuten volframia (W) ja molybdeeniä (Mo), arvostetaan niiden korkean lämmönkestävyyden ja stabiilisuuden vuoksi, ja niitä käytetään usein kestävinä diffuusioesteinä ja kontakteissa vaativissa ympäristöissä.
Erikoistuneet funktionaaliset metallit
Erittäin puhdas hopea tarjoaa metallien parhaimman sähkön- ja lämmönjohtavuuden. Tämä tekee siitä ihanteellisen erittäin johtavien, läpinäkyvien elektrodien kerrostamiseen kosketusnäyttöihin ja loistavasti heijastavien, matalaemissiivisten pinnoitteiden valmistamiseen energiansäästöikkunoihin.
Jalometalleja, kuten kultaa (Au) ja platinaa (Pt), käytetään erittäin luotettavissa ja korroosionkestävissä sähkökontakteissa ja erikoisantureissa.
Siirtymämetallit, kuten titaani (Ti) ja tantaali (Ta), ovat ratkaisevan tärkeitä erinomaisten tarttumis- ja suojaominaisuuksiensa vuoksi, ja ne muodostavat usein pohjakerroksen alustalle ennen muiden materiaalien levittämistä.
Vaikka tämä monipuolinen materiaalivalikoima mahdollistaa modernin teknologian käytön, kuparin johtavuus, nikkelin luotettavuus ja hopean erinomainen heijastavuus ovat edelleen vertaansa vailla omissa sovelluksissaan. Näiden erittäin puhtaiden metallien tasainen laatu on korkean suorituskyvyn ohutkalvopinnoitteiden perusta.
Julkaisuaika: 24.11.2025
